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晶圆片预热烤箱，晶圆片涂胶后坚膜烘烤箱，晶圆片显影后的高温烘
| 产品型号： |
COL-2 |
| 品 牌： |
上海旦顺 |
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| 所 在 地： |
江苏常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：上海旦顺 | | 型号：COL-2 | | 加工定制：是 | |
| | 类型：恒温 | | 型号：COL-2 | | 加工定制：是 | |
本公司COL－系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，
得到***佳温度控制精度。
技术参数：
1. 百级无尘烤箱型号:COL-2
2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 温度范围：RT＋60℃～300℃
4. 无尘烤箱洁净度：100级；
5. 温度均匀性: ±1.5%
6. 波 动 度：±0.5℃
7. 电 源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉；
9. 空气循环装置：大容量轴流电机；
10. 加热方式：不锈钢电加热器；
11. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；
12. 控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
13. 超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
14. 控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；
15. 排 气 口：ф50；
16. 隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。
无尘烤箱热线：400-8238860， 联系人：蒋鑫,
