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南京CCD光刻前烘后烘工艺专用100级无尘烘箱
| 产品型号： |
COL-2 |
| 品 牌： |
上海旦顺 |
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| 所 在 地： |
江苏常州 |
| 更新日期： |
2025-02-17 |
| | 品牌：上海旦顺 | | 型号：COL-2 | | 加工定制：是 | |
| | 类型：恒温 | | 型号：COL-2 | | 加工定制：是 | |
南京CCD光刻前烘后烘工艺专用100级无尘烘箱
在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。
本公司生产的COL-系列无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污
无尘烘箱特点：
1：全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
2 ：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
3：采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门
(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
技术参数：
1. 百级无尘烤箱型号:COL-2
2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 温度范围：RT＋60℃～300℃
4. 无尘烤箱洁净度：100级；
5. 温度均匀性:
±1.5%
6. 波 动 度：±0.5℃
7. 电 源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉；
9. 空气循环装置：大容量轴流电机；
10. 加热方式：不锈钢电加热器；
11. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；
12. 控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
13. 超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
14. 控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；
15. 排 气 口：ф50；
16. 隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。
无尘烤箱热线：400-8238860， 联系人：蒋鑫,网站：www.done-e.com.
