旦顺8寸晶圆class100可联网封装专用无尘烘箱 MES烘箱QMO

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旦顺8寸晶圆class100可联网封装专用无尘烘箱 MES烘箱QMO

产品型号：

QMO

品牌：

旦顺

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所在地：

江苏常州

更新日期：

2025-02-17

详细信息

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品牌：旦顺	型号：QMO	加工定制：是
类型：无尘	材质：不锈钢	温度范围：20℃～300 ℃
功率：待定	工作室尺寸：定制 mm	适用范围：晶圆

8寸晶圆class100可联网封装专用无尘烘箱 MES烘箱

智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！
智能烘箱过程管理描述：
1.> 工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱；
2.> 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息；
3.> 系统控制开/关门等动作；
4.> 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位；
5.> 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息
智能烘箱主要参数介绍：
温度范围：室温+20℃～300/400/500/600℃
均匀度：±1.5%
洁净等级：Class10 Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根据客户需求配置）
升温速度：常温～+600℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控
降温速度：降温斜率程序可控，500℃~300℃约3~5℃/min,300℃~120℃约1~3℃/min,120℃~65℃约0.5~1℃/min
控制系统优势介绍

控制系统	工控电脑+欧姆龙PLC
权限	给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码；
	给每个操作者，自定义分配权限（如：启动，停止，调取工艺，调试，查看报表……）
	记录当前操作者的所有操作记录；
控制方式切换	本地模式	由操作者，创建工艺、选择工艺、执行；
	远程模式	客户系统发送运行工艺指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系统，可沟通开发)
数据信息(数据信息可以存10年以上！)	运行工艺信息记录
	运行数据记录（如：温度、时间、含氧量、气体流量、压力……）
	事件记录（开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件）
	通讯记录（与客户系统通讯记录）
	操作记录（操作者操作记录，如：登录，注销，故障处理……）
故障信息显示	通讯故障
	加热断线
	循环风机故障
	气体管路故障
异常处理	上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机；（控制点和采样点）独立设备温度超限断电；异常断电